澤攸科普 | 臺階儀：表面測量的精密工具全解析

一、臺階儀的定義與用途

臺階儀，英文名為 Profilometer，是專門用于測量物體表面輪廓和表面光潔度（表面粗糙度）的儀器。在微觀層面觀察，物體表面實則是由一系列高度、深度以及間距各不相同的峰谷所構成。這些看似細微的特征差異，卻在很大程度上決定了表面的諸多特性，例如手感上是光滑還是粗糙，外觀呈現啞光還是光澤，是否具備密封性能，或者是否適用于耐磨表面等。在機械零件生產制造等行業里，技術圖紙上通常會明確規定表面粗糙度或表面光潔度的具體要求。此時，臺階儀就成為了驗證這些要求是否得以滿足的重要工具。它能夠以非常高的精度測量出表面微觀結構的各項參數，從而確保產品的質量和性能符合設計預期。

二、臺階儀的工作原理

（一）接觸式臺階儀

接觸式臺階儀的測量原理是通過一個觸針輕輕地在被測表面上劃過，以此來獲取表面輪廓信息。觸針的尖端形狀為圓錐形，底部帶有球形半徑。當觸針沿著表面劃過那些高低起伏的峰谷時，其在垂直方向上的高度變化會被轉化為電信號進行記錄，并且這些高度變化會與觸針在水平方向上的移動位置一一對應起來，最終生成精確的測量輪廓。觸針尖端的圓錐角度以及球形半徑的大小，直接決定了該觸針能夠探測到的最小表面特征尺度。為了保證觸針在測量過程中的耐磨性和使用壽命，其尖端通常采用硬度極高且耐磨的材料制成，如金剛石或藍寶石等。在實際操作中，例如在機械加工車間里常見的手持式接觸式臺階儀，使用時將其放置在需要測量的工件表面上，觸針會以大約每秒 1 毫米的速度自動在表面上劃過。這種類型的臺階儀，其觸針尖端半徑最小可以達到幾微米的量級，能夠精確測量出 Ra 值低至 0.005 µm 以及 Rz 值低至 0.02 µm 的表面粗糙度。而且，根據被測表面的光滑程度不同，手持式接觸式臺階儀通常還配備有多種不同的測量范圍可供選擇，以適應多樣化的測量需求。

接觸式臺階儀示意圖

接觸式臺階儀尖端形狀

（二）光學式臺階儀

光學式臺階儀包含了一維、二維以及三維等多種類型的測量設備。這類臺階儀利用光的反射原理來測量表面特征，其工作原理基于多種光學原理，如光學干涉、共焦孔徑技術、焦點檢測原理以及圖案投影原理等。盡管光學式臺階儀的種類繁多且原理各異，但它們也存在一些共同特點。光學式臺階儀通常是相對大型的儀器設備，主要由光源、光學透鏡以及圖像傳感器等部件組成。然而，其對測量表面也有一定要求，即需要被測表面能夠有效地反射所使用的光，這就使得許多光學式臺階儀在測量半透明或高反射率表面時會遇到困難。此外，為了確保反射光能夠準確地表征表面特征，被測表面必須保持清潔，不能有灰塵、水以及油污等雜質的存在。由于光的傳播速度極快，光學式臺階儀在測量速度方面具有顯著優勢，相比接觸式臺階儀能夠更快地獲取測量數據。某些先進的光學式臺階儀甚至可以在短短幾秒內收集數百萬個讀數，這使得對大面積表面形貌進行建模成為可能，極大地提高了測量效率和數據獲取能力。

三、臺階儀的選擇要點

在選擇適合自己應用需求的臺階儀時，需要綜合考慮多個關鍵因素，以下是一些重要的選擇要點：

測量參數需求：首先要明確自己需要測量哪些參數，例如常見的 Ra、Rz 等參數，并且要確定這些參數的大致范圍。同時，還需要根據實際應用的精度要求，選擇能夠滿足相應精度標準的臺階儀。不同的行業和應用場景對表面粗糙度等參數的精度要求差異較大，只有選擇精度匹配的儀器才能確保測量結果的有效性。

被測表面特性考量：需要充分考慮被測表面的各種特性，包括表面的大小、形狀以及材質等因素。如果被測表面較大且粗糙度要求范圍較廣，例如在一些大型機械制造企業中偶爾生產的大型零件，手持式接觸式臺階儀且具有較大測量范圍的型號可能更為合適；而對于小型、高精度要求且表面形狀復雜的被測物體，如半導體芯片制造過程中的晶圓表面檢測，光學式臺階儀可能能夠提供更精確和全面的測量結果。此外，如果被測材料為軟質材料，那么在選擇接觸式臺階儀時就需要更加謹慎考慮觸針可能對材料表面造成的損傷問題。

測量效率因素：要根據實際測量的工作節奏和需求來考慮測量效率。如果在生產線上需要頻繁地進行大量測量，每次測量的周期時間較短，那么光學式臺階儀憑借其快速測量的優勢可能是更好的選擇；反之，如果測量頻率較低，例如在一些小型機械加工車間中只是偶爾進行表面粗糙度檢測，接觸式臺階儀的成本和性能特點可能更能滿足這種低頻測量的需求，同時也能在一定程度上節約成本。

綜上所述，臺階儀作為表面測量領域的重要精密工具，無論是接觸式還是光學式，都各自具有特別的優勢和適用范圍。在實際應用中，只有深入了解臺階儀的各項特性，并根據具體的測量需求、被測表面特征以及測量效率等多方面因素進行綜合權衡，才能選擇到適合自己應用場景的臺階儀，從而為工業生產和科學研究提供準確、可靠的表面測量數據，保障產品質量和研究成果的科學性。希望通過本文的介紹，能讓您對臺階儀有更為全面和深入的認識，以便在相關工作和研究中能夠做出更加明智的選擇。

澤攸科技臺階儀可以對微納結構進行膜厚和臺階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量，在高校、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫療設備等行業領域有著廣泛應用。長期以來，這一領域被國外產品壟斷。而澤攸科技自主研發的JS系列高精度臺階儀，憑借突破性的關鍵技術，打破了國外壟斷，是半導體國產化進程中重要的一環。