關(guān)于臺(tái)式掃描電鏡如何選擇合適的加速電壓值的建議

更新時(shí)間：2022-05-20

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　　臺(tái)式掃描電鏡速度快，信號(hào)采集帶寬10M，可以在視頻模式下流暢實(shí)時(shí)的顯示樣品。只需鼠標(biāo)就可完成所有操作，不需對(duì)中光闌等復(fù)雜步驟，聚焦消像散后可直接拍圖。主機(jī)集成高壓及控制系統(tǒng)，體積小巧，便于移動(dòng)，可出差攜帶，安裝無(wú)需特殊環(huán)境，只需找一張桌子，供電就可工作。

臺(tái)式掃描電鏡

　　那么在實(shí)際工作中要采集到一幅好照片，除了要有好的臺(tái)式掃描電鏡設(shè)備之外，選擇合適的加速電壓值也是很重要的一步。選擇高、低不同的加速電壓各有不同的優(yōu)缺點(diǎn)，通常應(yīng)根據(jù)試樣的組分和分析目的的不同來(lái)考慮，即金屬試樣一般會(huì)選擇較高的加速電壓，輕元素組成的試樣一般會(huì)選擇較低的加速電壓。

　　（1）選擇低加速電壓的優(yōu)點(diǎn)

　　臺(tái)式掃描電鏡圖像的成像信息來(lái)源越趨于表面，圖像的表面細(xì)節(jié)就越顯得豐富、細(xì)膩，特別是會(huì)明顯減少邊緣效應(yīng)，使得到的圖像顯得更協(xié)調(diào)、柔和。另外，低加速電壓、小束斑對(duì)試樣表面的損傷小，不容易造成試樣的荷電和圖像的漂移，也會(huì)減輕對(duì)試樣的損傷。

　　（2）選擇低加速電壓的缺點(diǎn)

　　加速電壓越低，電子束的波長(zhǎng)越長(zhǎng)，越不容易得到高分辨力的圖像，所以低加速電壓僅適合于拍攝放大倍率不太高的圖像，還有信噪也比較差，抗外部電磁場(chǎng)的干擾能力也較弱，對(duì)試樣表層所受的污染會(huì)變得更敏感，所以不易得到高清晰和高分辨力的圖像。

　　（3）選擇高加速電壓的優(yōu)點(diǎn)

　　加速電壓越高入射電子束的波長(zhǎng)越短，也就越容易得到高分辨力的圖像，還有抗外部電磁場(chǎng)的干擾能力也會(huì)增強(qiáng)，也不易受到試樣表層污染斑的影響，所以高的加速電壓比較適合拍攝高倍率的圖像。

　　（4）選擇高加速電壓的缺點(diǎn)

　　所獲得的圖像會(huì)缺少表面信息和細(xì)節(jié)，易呈現(xiàn)高反差，特別是會(huì)明顯增大邊緣效應(yīng)，使得到的圖像欠柔和，也會(huì)使圖像容易呈現(xiàn)生硬的感覺(jué)。另外，高的加速電壓、大的束斑也容易造成試樣的放電和損傷，以及圖形的漂移。

　　以上就是關(guān)于如何選擇合適的加速電壓值的一些建議。

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