SEM低溫/冷凍真空傳輸系統

產品介紹

澤攸科技的SEM低溫/冷凍真空傳輸系統是一款專為掃描電子顯微鏡（SEM）設計的先進設備，它允許在極低溫度下對樣品進行觀察和分析，同時保持樣品的原始狀態。該系統能夠在真空環境中穩定傳輸樣品，確保在分析過程中樣品不受外界環境的影響，這對于需要在低溫條件下研究材料表面特性的科研人員來說至關重要。

參數介紹

提供定制化樣品梭服務

獨立控制系統   獨立真空系統

高匹配360°（無限）旋轉冷臺  冷臺傾轉角度≥55°

冷臺溫度≤-170℃  冷臺降低溫時間：≤35min

冷阱溫度≤-190℃  冷阱降低溫時間≤20min

冷臺、冷阱設計烘烤功能  烘烤溫度：≥100℃

• 360°旋轉冷臺

▲ 功能：用于裝載樣品梭及提供低溫保

▲ 旋轉角度：0-360°

▲ 控溫范圍：-170℃~100℃

▲ 控溫精度：≤±0.1℃

▲ 降溫速度：≤35min

• 冷阱

▲ 功能：低溫保護、吸附污染物

▲ 控溫范圍：≤-190℃

▲ 控溫精度：≤±0.5℃

▲ 降溫速度：≤20min

• 真空轉移腔

▲ 功能：用于樣品的真空轉移

▲ 可實現手套箱—FIB真空相互轉移

▲ 可實現液氮內樣品—FIB冷凍制樣真空轉移

• 真空過度倉

▲ 功能：實現樣品到電鏡的真空過度轉移

▲ 操作快速

▲ 便捷獨立真空系統

▲ 匹配電鏡真空

• 低溫系統

▲ 功能：用于為冷臺、冷阱提供冷源

▲ 液氮容積35L

▲ 持續工作時間＞8h

▲ 設計不停機添加液氮端口

• 控制系統

▲ 功能：用于系統的控制、集成和交互

▲ 溫度顯示及控制

▲ 真空系統集成與控制

▲ 選配液氮工作站，可滿足樣品的冷進冷出需求

應用案例

鋰電池隔膜樣品在不同溫度下的FIB截面制備結果
顯示：低溫可避免FIB制備過程產生的熱量對樣品結構造成的破壞

某高分子膜截面冷凍加工